甲烷源离子束沉积类金刚石研究

陈祝平

陈祝平. 甲烷源离子束沉积类金刚石研究[J]. 煤炭学报, 1999, (4).
引用本文: 陈祝平. 甲烷源离子束沉积类金刚石研究[J]. 煤炭学报, 1999, (4).

甲烷源离子束沉积类金刚石研究

  • 摘要: 在低温(<100℃)、低压(3×10-3Pa)下,以CH4/Ar混合气体形成的单离子束对低碳钢表面轰击,结果钢表面生成厚度为90~140nm的薄膜,由纳米硬度计测出硬度为21~29MPa.作SEM分析,在放大18000倍下仍观察不到薄膜晶界;AES分析表明其主要成分为碳;复由激光拉曼谱分析证实,这是一种非晶态的同时含sp3和sp2键的类金刚石薄膜.
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出版历程
  • 网络出版日期:  2023-04-11
  • 发布日期:  1999-08-30

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