English
高级检索

甲烷源离子束沉积类金刚石研究

陈祝平

陈祝平. 甲烷源离子束沉积类金刚石研究[J]. 煤炭学报, 1999, (4).
引用本文: 陈祝平. 甲烷源离子束沉积类金刚石研究[J]. 煤炭学报, 1999, (4).
shu

甲烷源离子束沉积类金刚石研究

  • 煤炭科学研究总院北京建井研究所

摘要

    摘要
  • 摘要: 在低温（＜１００℃）、低压（３×１０－３Ｐａ）下，以ＣＨ４／Ａｒ混合气体形成的单离子束对低碳钢表面轰击，结果钢表面生成厚度为９０～１４０ｎｍ的薄膜，由纳米硬度计测出硬度为２１～２９ＭＰａ．作ＳＥＭ分析，在放大１８０００倍下仍观察不到薄膜晶界；ＡＥＳ分析表明其主要成分为碳；复由激光拉曼谱分析证实，这是一种非晶态的同时含ｓｐ３和ｓｐ２键的类金刚石薄膜．
    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献
    • 资源附件(0)
计量
  • 文章访问数:  331
  • HTML全文浏览量:  0
  • PDF下载量:  0
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 网络出版日期:  2023-04-11
  • 发布日期:  1999-08-30

目录

摘要
HTML全文
    参考文献(0)
    相关文章
    施引文献
    资源附件(0)

    /

    返回文章
    返回

    相关链接

    邮件订阅 RSS

    网站版权 © 《煤炭学报》编辑部 京ICP备05086979号-14

    地址：北京市朝阳区和平街13区煤炭大厦

    邮编：100013

    编辑部电话：（010）87986413

    本系统由 北京仁和汇智信息技术有限公司 开发  百度统计