摘要: 在低温（＜１００℃）、低压（３×１０－３Ｐａ）下，以ＣＨ４／Ａｒ混合气体形成的单离子束对低碳钢表面轰击，结果钢表面生成厚度为９０～１４０ｎｍ的薄膜，由纳米硬度计测出硬度为２１～２９ＭＰａ．作ＳＥＭ分析，在放大１８０００倍下仍观察不到薄膜晶界；ＡＥＳ分析表明其主要成分为碳；复由激光拉曼谱分析证实，这是一种非晶态的同时含ｓｐ３和ｓｐ２键的类金刚石薄膜．